潔凈室是一種環境,可確保最低水平的環境污染物,如灰塵,空氣中的微生物,氣溶膠顆粒和化學蒸氣。它對許多應用至關重要,包括生命科學測試,半導體,檢測和電子制造,必須避免污染。為確保這一點,潔凈室中的所有設備也必須無污染。在制造用于潔凈室的組件(包括線性機械)時,必須遵循嚴格的程序來實現潔凈室規范。
雖然這些移動部件是顆粒狀的,但如果考慮顆粒形成的數量和位置,仍然可以制造和組裝線性機械以獲得潔凈室認證。此外,必須考慮應用程序中的其他幾個變量才能正確滿足這些性能要求,包括:
? 舞臺上沒有或存在層流氣流
在潔凈室中保持安全和環境標準對于應用成功至關重要。要實現這一點,重要的是要有通風櫥。層流氣流非常適合需要精密直線模組和清潔工作環境的應用,例如零件檢測或光學組件。
? 運動曲線(加速度,速度等)
對于任何需要線性力學的應用,必須為直線模組提供正確的運動曲線。對于潔凈室應用來說尤其如此,以確保清潔環境不受損害。如果運動曲線不正確,定位器的電機可能會過熱,或者可能會損壞內部組件。隨著新的顆粒污染物被引入空氣中,這兩個問題都會對潔凈室環境產生負面影響。
? 舞臺方向
你的線性舞臺的運動方向是什么(水平,垂直,顛倒)?在潔凈室中,安裝方向會影響顆粒釋放到大氣中。如果可以實現,最好的安裝解決方案是將移動組件保持在工作區域下方。此外,正面朝上安裝方向可以更好地捕獲系統內的顆粒而不是垂直或倒置取向。
? 相對于舞臺的興趣點
在設計潔凈室環境時,必須考慮直線模組和樣品在其最大行程時的位置。整個系統應保持在通風櫥下,以確保維持潔凈室狀態。即使只有一小部分定位器暴露在外部環境中,污染仍然會蔓延到整個潔凈室。這肯定會影響線性致動器的性能。
如您所見,在使用直線機制時,沒有一種標準方法可以正確設置潔凈室環境。應針對每個應用審查每個變量,以確保定位器適合潔凈室使用。在派克,我們提供各種精密直線模組,適用于潔凈室環境中的應用。
我們在潔凈室中使用的所有直線機械都要經過標準測試程序,以確保它們符合聯邦標準209E和ISO標準14644的邊界條件。其中一種產品是微型方形導軌模組mSR系列。由于其設計中接觸面的數量有限,因此非常適合潔凈室使用。
直線模組mSR可用于各種潔凈室應用,包括:
生命科學應用,如顯微鏡或數字病理學,由于低調和高精度
半導體計量應用由于其直線度,平直度和高精度。
由于小尺寸,高加速度和高速容量的組合,可用作電子制造的定位器